Fraunhofer HHI volí rozprašovací systém spoločnosti Veeco

Ústav pre výskum optických telekomunikácií objednáva rozprašovací systém iónových lúčov na vytvorenie laserových fazetových povlakov a mikrooptických zariadení.
COATING

Spoločnosť HHI použije technológiu IBS spoločnosti Veeco na vytvorenie povlakov laserových faziet.

Veeco Instruments oznámila, že dodala svoje systémy Spector Ion Beam Sputtering (IBS) a Sirius Optical Monitor System do Fraunhoferov inštitút pre telekomunikácie(HHI).
Inštitút so sídlom v Berlíne tvrdí, že túto technológiu IBS použije „na vývoj a výrobu povlakov laserových faziet a ďalších mikrooptických zariadení“.
„Vývoj sofistikovaných mikrooptických zariadení si vyžaduje výnimočnú technológiu rozprašovania,“ komentovala Greta Ropers, vedúca skupiny pre backend a obaly spoločnosti Fraunhofer.
„Systém Spector spoločnosti Veeco spolu so systémom Sirius OMS zabezpečí, že vyvíjame a vyrábame zariadenia na svetovej úrovni s najvyššou priepustnosťou a opakovateľnosťou procesov na automatizovanej zavedenej platforme.“

Optické tenké filmy
Platforma Spector generuje vysoko kvalitné optické tenké filmy so zlepšenou úrovňou produktivity a priepustnosti podľa zákazníkov. Na rozdiel od odparovacích povlakov sa tenké filmy naprašované iónovým lúčom nanášajú pri vysokých energiách, čo poskytuje výnimočnú kontrolu hrúbky a nízku hustotu defektov pre aplikácie laserového nanášania. Sirius OMS zvyšuje schopnosť platformy Spector spojením širokopásmového monitorovacieho riadenia so stabilitou filmov nanášaných iónovým lúčom. ,
„Fraunhofer HHI, svetový líder v oblasti vývoja laserových fasetových povlakov a mikrooptických zariadení novej generácie,“ uviedol Dr. Adrian Devasahayam, viceprezident a generálny riaditeľ divízie Advanced Deposition and Etch (AD&E) spoločnosti Veeco. „Systém Spector poskytuje bezkonkurenčnú kvalitu a flexibilitu pre presné optické nanášanie tenkých filmov a urýchli ich vývojové ciele.“
Finančné prostriedky na tento projekt poskytla Európska investičná banka Forschungsfabrik Mikroelektronik, výskumná továreň pre mikroelektroniku a nanoelektroniku, ktorá kompromituje jedenásť ústavov v rámci skupiny Fraunhofer spolu s Inováciami pre vysoko výkonnú mikroelektroniku a Inštitútom Ferdinand-Braun, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik. Systém bol predaný v spolupráci s európskym kanálovým partnerom spoločnosti Veeco,Veonis Technologies.


Čas zverejnenia: 31. októbra 2019